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壓電驅(qū)動納米定位平臺

壓電驅(qū)動納米定位平臺是指以壓電陶瓷驅(qū)動器作為驅(qū)動元件，以柔性鉸鏈機構(gòu)為支撐導(dǎo)向的微位移運動平臺，是實現(xiàn)動態(tài)納米控制不可或缺的關(guān)鍵部分。在微操作器，磁盤驅(qū)動、原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、納米壓印、納米操縱等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。該平臺由壓電陶瓷驅(qū)動器、柔性鉸鏈微位移機構(gòu)、微位移測量傳感器和控制系統(tǒng)組成。